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【样品制备】等离子清洗机

发布人：Super User 发布时间：2012-10-01 浏览次数：2624大中小

名称：等离子清洗机

制造商：美国GATAN公司

设备购置时间：2012.10

主要技术指标：

常用附件：TEM样品杆专用接口，氩气，氧气，氢气

主要应用领域：电镜样品清洗

主要用途：

1、可清洗标准透射电镜样品杆：适合侧插式的TEM样品杆，用于去除碳氢化合物对TEM样品载台或样品的污染。

2、适合STEM分析使用：可用于去除样品及样品杆表面的污染，防止碳沉积降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判，提高样品在低电压下的成像能力，在化学微量分析时提高其精度，保证EDX和STEM有更长时间的读取和获取次数，适用于场发射扫描电镜、场发射透射电镜、STEM和EDS分析。

3、通过多功能腔体能接受两个透射电镜样品杆，同时能装入多种扫描样品。

4、专用化学气体H2/O2，化学清洗时能减少溅射损伤所有样品，可以清洗多孔碳膜。

设备负责人：张维娜

联系方式： Tel：13604028597 024-83686411

E-mail：

放置地点：RAL 101

等离子清洗机操作规范

1、操作前准备：确定Ar和 O₂气钢瓶内尚有气体；

2、连接设备电源，并打开开关。在设备前端显示器查看气体连接是否正常；

3、将透射电镜样品装入样品电镜样品杆；

4、将样品杆装入FEI连接器，并插入等离子清洗机内，确认密封连接；

5、选择等离子气体组分（TEM，STEM等模式）；

6、点击抽真空按钮，观察样品室真空达到额定值；

7、点击开始按钮，开始清洗；

8、清洗结束后，点击放气按钮，气体放气结束后，取出样品，将密封口重新接入接口。实验结束后关闭主机和气瓶。