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【样品制备】等离子清洗机

发布人:Super User  发布时间:2012-10-01  浏览次数:2624

 

名称:等离子清洗机

制造商:美国GATAN公司

设备购置时间:2012.10

主要技术指标:

  1. 三个气体给入通道(O2, H2, Ar)
  2. 氧气和氢气流量控制器
  3. 单独电源
  4. TEM 样品杆预留口
  5. 超大样品室直径>8cm,样品室高度>5cm

常用附件:TEM样品杆专用接口,氩气,氧气,氢气

主要应用领域:电镜样品清洗

主要用途:

1、可清洗标准透射电镜样品杆:适合侧插式的TEM样品杆,用于去除碳氢化合物对TEM样品载台或样品的污染。

2、适合STEM分析使用:可用于去除样品及样品杆表面的污染,防止碳沉积降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判,提高样品在低电压下的成像能力,在化学微量分析时提高其精度,保证EDX和STEM有更长时间的读取和获取次数,适用于场发射扫描电镜、场发射透射电镜、STEM和EDS分析。

3、通过多功能腔体能接受两个透射电镜样品杆,同时能装入多种扫描样品。

4、专用化学气体H2/O2,化学清洗时能减少溅射损伤所有样品,可以清洗多孔碳膜。

 

设备负责人:   张维娜

联系方式:       Tel:13604028597   024-83686411

E-mail:

放置地点:RAL 101

 

 

等离子清洗机操作规范

 

1、 操作前准备:确定Ar和 O2气钢瓶内尚有气体;

 

2、 连接设备电源,并打开开关。在设备前端显示器查看气体连接是否正常;

 

3、 将透射电镜样品装入样品电镜样品杆;

 

4、 将样品杆装入FEI连接器,并插入等离子清洗机内,确认密封连接;

 

5、 选择等离子气体组分(TEM,STEM等模式);

 

6、 点击抽真空按钮,观察样品室真空达到额定值;

 

7、 点击开始按钮,开始清洗;

 

8、 清洗结束后,点击放气按钮,气体放气结束后,取出样品,将密封口重新接入接口。实验结束后关闭主机和气瓶。

 

注意,设备不使用时,尽量保持Ar和 O2等离子清洗机连接,确保设备气体通道不被污染。