名称:高真空镀碳仪
型号:Cressington 208C high
制造商:英国Cressington
设备购置时间:2009年12月23日
主要技术指标:
(1)厚度测量范围:0~999.9nm;精度:0.1nm
(2)密度范围:0.5~30 gm/cm3;
(3)钟罩尺寸:150mm直径
(4)高度:165~250mm
(5)碳源类型:6.15mm碳棒,不锈钢夹具
(6)样品台:异步行星传动台
常用附件:测厚仪
主要应用领域:制样设备
主要用途:对扫描电镜及电子探针等设备的样品表面进行喷镀碳膜
设备负责人:吴红艳
联 系 方式:
Tel:024-83690365
E-mail:
放 置 地点: RAL 107室
仪器设备相关链接网址:
Cressington 208C高真空镀碳仪-操作规程
1. 连接电源并打开主机(POWER)。
2. 等绿灯亮后,再等3~5分钟再调节电压(4V)和时间(6s)。
3. 打开主机背面的小开关,调整转速在3~4档,并设定电压和时间。
4. 打开测厚仪并使其归零。
5. 按START键开始喷碳。
6. 实验结束先停止设备转动,并先关掉设备背面小开关。
7. 再关POWER。
8. 关机后打开玻璃罩上盖,等其降到实温之后再将其盖好。
轧制技术及连轧自动化国家重点实验室
2011年