仪器设备

【样品制备】高真空镀碳仪

发布人:Super User  发布时间:2012-10-01  浏览次数:3151

名称:高真空镀碳仪

型号:Cressington 208C high

制造商:英国Cressington

设备购置时间:2009年12月23日

主要技术指标:

(1)厚度测量范围:0~999.9nm;精度:0.1nm

(2)密度范围:0.5~30 gm/cm3;

(3)钟罩尺寸:150mm直径

(4)高度:165~250mm

(5)碳源类型:6.15mm碳棒,不锈钢夹具

(6)样品台:异步行星传动台

常用附件:测厚仪

主要应用领域:制样设备

主要用途:对扫描电镜及电子探针等设备的样品表面进行喷镀碳膜

设备负责人:吴红艳

联 系 方式:

Tel:024-83690365

E-mail:

放 置 地点: RAL 107室

 

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Cressington 208C高真空镀碳仪-操作规程

 

1.  连接电源并打开主机(POWER)。

 

2.  等绿灯亮后,再等3~5分钟再调节电压(4V)和时间(6s)。

 

3.  打开主机背面的小开关,调整转速在3~4档,并设定电压和时间。

 

4.  打开测厚仪并使其归零。

 

5.  按START键开始喷碳。

 

6.  实验结束先停止设备转动,并先关掉设备背面小开关。

 

7.  再关POWER。

 

8.  关机后打开玻璃罩上盖,等其降到实温之后再将其盖好。

 

 

 

 

 

 

 

轧制技术及连轧自动化国家重点实验室

 

2011年