仪器设备

【结构表征】场发射扫描电子显微镜

发布人:Super User  发布时间:2012-10-01  浏览次数:3325

 

名称:场发射扫描电子显微镜

制造商:德国蔡司

设备购置时间:2010年12月

主要技术指标: 分辨率:1.0nm

常用附件:能谱仪,电子背散射衍射分析系统(EBSD)

主要应用领域:金属材料

主要用途:材料表面形貌观察,微区成分及多晶材料的晶体取向分析

设备负责人:   王佳夫

联系方式:      

Tel:83673168

E-mail:

放置地点:RAL 103B房间

 

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                                                            操作规程

 

  1. 开机前,检查电源、冷却水及氮气是否正常;
  2. 打开服务器主机电源;
  3. 打开smartSEM软件,EM server进行自检;
  4. 放气后,将干净的试样正确放入样品室,关上样品室;
  5. 点击抽真空按钮抽真空;
  6. 待真空达到要求后,加高压;
  7. 调整电镜参数(加速电压、束斑尺寸、放大倍数及扫描速率等);
  8. 观察分析之后,先关高压,待灯丝冷却后再放气,更换试样;
  9. 实验完成后,按实际情况,使系统处于合适的状态下(关闭模式、待机模式和夜间模式)。