【结构表征】场发射扫描电子显微镜
发布人：Super User 发布时间：2012-10-01 浏览次数：5357大中小
名称：场发射扫描电子显微镜
制造商：德国蔡司
设备购置时间：2010年12月
主要技术指标： 分辨率:1.0nm
常用附件：能谱仪，电子背散射衍射分析系统(EBSD)
主要应用领域：金属材料
主要用途：材料表面形貌观察，微区成分及多晶材料的晶体取向分析
设备负责人： 王佳夫
联系方式：
Tel：83673168
E-mail：
放置地点：RAL 103B房间
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操作规程
- 开机前，检查电源、冷却水及氮气是否正常；
- 打开服务器主机电源；
- 打开smartSEM软件，EM server进行自检；
- 放气后，将干净的试样正确放入样品室，关上样品室；
- 点击抽真空按钮抽真空；
- 待真空达到要求后，加高压；
- 调整电镜参数（加速电压、束斑尺寸、放大倍数及扫描速率等）；
- 观察分析之后，先关高压，待灯丝冷却后再放气，更换试样；
- 实验完成后，按实际情况，使系统处于合适的状态下（关闭模式、待机模式和夜间模式）。
