名称:扫描电子显微镜
制造商:美国 FEI
设备购置时间:2005年11月
主要技术指标: 分辨率:3.5nm
常用附件:能谱仪,电子背散射衍射分析系统(EBSD),拉伸台
主要应用领域:金属材料
主要用途:材料表面形貌观察,微区成分及多晶材料的晶体取向分析
设备负责人: 王佳夫
联 系 方式:
Tel:83673168
E-mail:
放 置 地点:RAL 134房间
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操作规程
- 开机前,检查电源连线及设备开关状态;
- 打开电镜主机电源;
- 打开XT-microscope软件;
- 将干净的试样正确放入样品室,关上样品室;
- 将手动阀(EB)扳到合适的真空模式下;
- 点击抽真空按钮抽真空;
- 调整电镜参数(加速电压、束斑尺寸、放大倍数及扫描速率等);
- 观察分析之后,先关高压,待灯丝冷却后再放气,更换试样;
- 实验完成后,按实际情况,使系统处于合适的状态下(关闭模式、待机模式和夜间模式)。