【结构表征】电子探针

名称：场发射电子探针

型号：JEOL JXA-8530F

制造商：日本电子株式会社

设备购置时间：2009年12月25日

主要技术指标：

（1）空间分辨率：优于0.1μm；

（2）图像放大倍数：40倍～30万倍；

（3）分析元素：5B - 92U；

（4）加速电压：0～30kV

常用附件：4道波谱仪，能谱仪

主要应用领域：金属及非金属材料

主要用途：材料微区的成分及形貌分析
设备负责人：吴红艳

联 系 方式：

Tel：024-83690365

E-mail：

放 置 地点：RAL107室

仪器设备相关链接网址：

JEOL JXA8530 F场发射电子探针-操作规程

一．开机

1．  检查室温(<21℃)，冷却循环水水温(<20℃)，湿度(< 40%)。

2．  确认氮气气压为0.4-0.5MPa，PR（Ar10%-CH490%）气体气压为0.05MPa。

3．  检查主机电源按钮MAIN POWER、真空按钮VACUUM及OPE POWER按钮均为“ON”状态（正常状态）。

4．  打开JEOL-EPMA软件（电子探针操作程序）。

5．  确认Maintenance－GUN/VAC窗口中SIP1的真空度为10^－8Pa级、SIP2真空度为10^－6－10^－7Pa级，Gun Chamber为“Ready”状态，确认SPEC（样品室）真空显示为“READY”状态。

二．取出和放入样品

1．  取样：确认Observation为OFF，PCD为关闭，样品台放在交换位置（Exchange Position 变绿）。把拉杆抬到水平位置，慢慢送到底部，再将其向左旋转，随后拉出拉杆。按VENT，开始给样品室放气，等此按钮不闪后方可打开样品室门，取出样品台，并可以安装样品。

2．  放样：将装有样品的样品台正确装入样品台架上，关上样品室门。这时按EVAC按钮，等此按钮不闪并常亮时可将样品台拉杆送入样品室底部，方法为将拉杆慢送到到最里面，并向右旋转，再拉出即完成放入样品，之后再将拉杆放到垂直地面方向。

4．  按软件提示选择相应的样品台，并点击Home Position使样品台移到默认位置。

三. 图像采集

1．  点击Observation ON（开启V1阀)，点PCD开。

2．  将样品移到合适位置，首先调光学显微镜OM使其正焦，调整WDS工作距离为11mm，调整合适的放大倍数，开始聚焦并消除像散。

3．  可以拍摄图像及进行定性或定量等分析。

四．完成实验

1．  将放大倍数调回到40×，样品台放到交换位置（点Exchange Position）。

2．  点击ObservationOFF（关V1阀），关PCD。按“取样”步骤将样品取出。

3．  退出JEOL-EPMA软件，之后关闭液晶显示器。

轧制技术及连轧自动化国家重点实验室

2011年