仪器设备

【结构表征】电子探针

发布人:Super User  发布时间:2012-10-01  浏览次数:4749

 

名称:场发射电子探针

型号:JEOL JXA-8530F

制造商:日本电子株式会社

设备购置时间:2009年12月25日

主要技术指标:

(1)空间分辨率:优于0.1μm;

(2)图像放大倍数:40倍~30万倍;

(3)分析元素:5B - 92U;

(4)加速电压:0~30kV

 

常用附件:4道波谱仪,能谱仪

主要应用领域:金属及非金属材料

主要用途:材料微区的成分及形貌分析
设备负责人:吴红艳

联 系 方式:

Tel:024-83690365

E-mail:

放 置 地点:RAL107室

 

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JEOL JXA8530 F场发射电子探针-操作规程

 

 

 

一.开机

 

1.  检查室温(<21℃),冷却循环水水温(<20℃),湿度(< 40%)。

 

2.  确认氮气气压为0.4-0.5MPa,PR(Ar10%-CH490%)气体气压为0.05MPa。

 

3.  检查主机电源按钮MAIN POWER、真空按钮VACUUM及OPE POWER按钮均为“ON”状态(正常状态)。

 

4.  打开JEOL-EPMA软件(电子探针操作程序)。

 

5.  确认Maintenance-GUN/VAC窗口中SIP1的真空度为108Pa级、SIP2真空度为106-107Pa级,Gun Chamber为“Ready”状态,确认SPEC(样品室)真空显示为“READY”状态。

 

二.取出和放入样品

 

1.  取样:确认Observation为OFF,PCD为关闭,样品台放在交换位置(Exchange Position 变绿)。把拉杆抬到水平位置,慢慢送到底部,再将其向左旋转,随后拉出拉杆。按VENT,开始给样品室放气,等此按钮不闪后方可打开样品室门,取出样品台,并可以安装样品。

 

2.  放样:将装有样品的样品台正确装入样品台架上,关上样品室门。这时按EVAC按钮,等此按钮不闪并常亮时可将样品台拉杆送入样品室底部,方法为将拉杆慢送到到最里面,并向右旋转,再拉出即完成放入样品,之后再将拉杆放到垂直地面方向。

 

4.  按软件提示选择相应的样品台,并点击Home Position使样品台移到默认位置。

 

. 图像采集

 

1.  点击Observation ON(开启V1阀),点PCD开。

 

2.  将样品移到合适位置,首先调光学显微镜OM使其正焦,调整WDS工作距离为11mm,调整合适的放大倍数,开始聚焦并消除像散。

 

3.  可以拍摄图像及进行定性或定量等分析。

 

完成实验

 

1.  将放大倍数调回到40×,样品台放到交换位置(点Exchange Position)。

 

2.  点击ObservationOFF(关V1阀),关PCD。按“取样”步骤将样品取出。

 

3.  退出JEOL-EPMA软件,之后关闭液晶显示器。

 

轧制技术及连轧自动化国家重点实验室

 

2011年